RPG300/400/500复合真空计专为大范围压力测量应用而设计，结合了MEMS Pirani技术和压阻技术。与传统皮拉尼真空计相比，复合真空计具有更高的精度、稳定性和重复性，同时具有更快的响应时间。
                    

 ·皮拉尼+压阻原理         ·皮拉尼+压阻原理       ·皮拉尼+压阻原理
 ·量程:5x10^-4~1333 mbar     ·量程:5x10^-4~1333 mbar   ·量程:1x10^-5~1333 mbar